Datos del producto:
Pago y Envío Términos:
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Lubricación: | Maglev | Reborde: | ISO-K/CF |
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enfriamiento: | Agua | Velocidad de bombeo: | N2 2300L/s |
Alta luz: | bombas moleculares de turbo,bomba de vacío turbomolecular |
Bomba Maglev, CXF-250/2300, ISO-K / CF, refrigeración por agua, controlador externo
Las bombas moleculares levitadas magnéticamente son las bombas cuyo eje está soportado en virtud de la fuerza magnética, que cumple con los requisitos de aplicación en los campos de la fabricación moderna de semiconductores, la fabricación de chips, el recubrimiento industrial y los instrumentos científicos.
Tecnologías:
Las ventajas:
Estas bombas tienen ventajas, tales como cero fricción durante el funcionamiento y bajo consumo de energía, fácil de adquirir alto vacío realmente limpio y ultra alto vacío sin lubricación para bombas, capaces de extraer gases corrosivos a largo plazo, alta seguridad y larga vida útil gracias a la protección de rodamientos con bolas cerámicas de precisión y función de generación de energía en caso de apagado repentino. Tiene ventajas como libre de fricción, contaminación, mantenimiento y baja vibración, y puede instalarse en cualquier orientación.
Aplicaciones:
Extracción de gases corrosivos existentes en etch, CVD, PVD e implantación de iones y gases coagulados fácilmente a temperatura normal en los campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, galjanoplastia industrial e instrumentos científicos.
Especificación:
Brida (In) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Brida (Fuera) KF | DN40 |
Velocidad de bombeo (L / s) | N 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
El: 1900 | |
H2 2 : 850 | |
Índice de compresión | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Él: 10 4 | |
H2 2 : 10 3 | |
Presión final (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Presión continua de vacío frontal (Pa) | 60 |
Max. Presión de pre-vacío | N 2 : 250 |
Gas a lo largo (sccm) | N 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Él: 2800 | |
H2 2 : 2100 | |
Velocidad de rotación (rpm) | 27000 |
Tiempo de ejecución (min) | ≤11 |
Tipo de enfriamiento, Estándar | Agua |
Consumo de agua de refrigeración (L / min) | 1 |
Temperatura del agua de enfriamiento (℃) | 20 |
Conexión de alimentación: Voltaje (VCA) | 220 |
Modelo de controlador | CXF-2300 |
Peso (kgs) | 59 (ISO-K / F) 62 (CF) |
Persona de Contacto: sales
Teléfono: +8613810212935