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Datos del producto:
Pago y Envío Términos:
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Reborde: | ISO-K/CF | enfriamiento: | agua |
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Regulador: | A bordo | Última presión: | CF: 1E-6, ISO-K/F: 6E-6 |
Alta luz: | bombas moleculares de turbo,bomba de vacío turbomolecular |
Bomba Maglev, CXF-250 / 2301E, refrigeración por agua, a bordo
Las bombas moleculares levitadas magnéticamente son las bombas cuyo eje está soportado en virtud de la fuerza magnética.
Las bombas moleculares levitadas magnéticamente de la serie son equipos de generación de vacío desarrollados por KYKY para cumplir con los requisitos de aplicación en los campos de la fabricación moderna de semiconductores, la fabricación de chips, el recubrimiento industrial y los instrumentos científicos.
Tecnologías:
Aplicaciones:
Las bombas moleculares levitadas magnéticamente de la serie se aplican principalmente a los campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, galjanoplastia industrial e instrumentos científicos, especialmente a la extracción de gases corrosivos existentes en etch, CVD, PVD e implantes de iones y los gases se coagulan fácilmente a temperatura normal.
Presupuesto:
Brida (In) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Brida (Fuera) KF | DN40 |
Velocidad de bombeo (L / s) | N 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
El: 1900 | |
H2 2 : 850 | |
Índice de compresión | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Él: 10 4 | |
H2 2 : 10 3 | |
Presión final (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Presión continua de vacío frontal (Pa) | 60 |
Max. Presión de pre-vacío | N 2 : 250 |
Gas a lo largo (sccm) | N 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Él: 2800 | |
H2 2 : 2100 | |
Velocidad de rotación (rpm) | 27000 |
Tiempo de ejecución (min) | ≤11 |
Tipo de enfriamiento, Estándar | Agua |
Consumo de agua de refrigeración (L / min) | 1 |
Temperatura del agua de enfriamiento (℃) | 20 |
Conexión de alimentación: Voltaje (VCA) | 220 |
Persona de Contacto: sales
Teléfono: +8613810212935