Datos del producto:
Pago y Envío Términos:
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Resolution: | SE:3nm@30KV,8nm@3kV; BSE :4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
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Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
Resaltar: | microscopio electrónico de los sem,máquina de los sem |
As KYKY over 60 years SEM manufacture experience, the whole EM series supports old system refurbished and customized system as SEM+, such as Electron Beam Lithography remodel, LaB6 upgrade,integrated with STM,AFM,Heating Stage;Cryo Stage;Tensile Stage;Micro-nano manipulator etc. System also has multiple interface at chamber for attaching most of the analysis detector in the market
Advanteges:
◆ Módulos opcionales de bajo vacío (LVSE, LVBSE)
◆ Funciones de automatización ricas
◆ Personalización de columna/cámara/sistema eléctrico
◆ Cámara opcional de gran tamaño
◆ Cámara de navegación de campo amplio
◆ Ajustos en expansión rica
Presupuesto:
Artículo | Filamento de tungsteno EM6910 SEM | |
Resolución | SE: 3nm@30kv, 8nm@3kv ; bse: 4nm@30kv | |
Aumento | 1x-450000x | |
Pistola de electrones | Filamento de tungsteno prealineado | |
Voltaje acelerado |
0.2kV-30kV
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Sistema de vacío
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Bomba turbo molecular +bomba mecánica
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Apertura objetiva | Apertura de molibdeno ajustable fuera del sistema de vacío | |
Etapa de la muestra | Etapa de cinco hachas | |
Viajar | X (auto) | 0 ~ 80 mm |
Rango | Y (Auto) | 0 ~ 50 mm |
Z (manual) | 0 ~ 30 mm | |
R (manual) | 360 ° | |
T (manual) | -5 ° ~ 70 ° | |
Diámetro de la muestra máxima | 175 mm | |
Detector |
Detector de electrones secundarios
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Semiconductor Detector de BSE ※
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CCD infrarrojo
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Sed de bajo vacío ※/ BSED BSED ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※
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Modificación | Actualización de la etapa; EBL; STM; AFM; Etapa de calefacción; Etapa cryo; Etapa de tracción; Manipulador de micro-nano; SEM+Machina de recubrimiento; SEM+Laser | |
Accesorios | Lab6, detector de rayos X (eds), EBSD, CL, WDS, máquina de recubrimiento | |
Función baja de vacío ※
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Nivel de vacío 10-270PA SE: 4NM@30kV, 50PA
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Persona de Contacto: Ms. Wang He
Teléfono: 86-10- 82548271
Fax: 86-010-62564613