Vibración baja magnético elevada y mantenida flotando CXF-320/3000E de la bomba de vacío de Turbomolecular

Bomba Maglev, CXF-320 / 3000E, refrigeración por agua, ISO-F, controlador externo

Las bombas moleculares levitadas magnéticamente son las bombas cuyo eje está soportado en virtud de la fuerza magnética.

Las bombas moleculares levitadas magnéticamente de la serie son equipos de generación de vacío desarrollados por KYKY para cumplir con los requisitos de aplicación en los campos de la fabricación moderna de semiconductores, la fabricación de chips, el recubrimiento industrial y los instrumentos científicos.

El cojinete electromagnético también se denomina "osos levitados magnéticos activos", que consiste en un cojinete magnético, un sensor y un sistema de control. Este diseño tiene una respuesta dinámica y un ajuste oportuno, el eje de alta velocidad y un funcionamiento confiable.

Las ventajas:

1. Cero fricción durante el funcionamiento y bajo consumo de energía.

2. Fácil de adquirir alto vacío realmente limpio y vacío ultraalto sin lubricación para bombas

3. Capaz de extraer gases corrosivos a largo plazo.

4. Alta seguridad y larga vida útil gracias a la protección de los rodamientos con bolas cerámicas de precisión.

5. Función de generación de energía en caso de apagado repentino.

6. Libre de fricción

7. Libre de contaminación.

8. Libre de mantenimiento

9. Baja vibración

10. instalado en cualquier orientación.

Tecnologías:

• Tecnología de control para rodamientos magnéticos: levitación magnética de 5 ejes. Este diseño puede tener una respuesta dinámica y un ajuste oportuno por medio de una tecnología de control de suspensión magnética de circuito cerrado activa dinámica basada en la teoría de control internacional avanzada, a fin de garantizar tales ventajas significativas del eje de alta velocidad como un funcionamiento estable y confiable.
• Tecnología de control de accionamiento del motor: el motor de alta velocidad de alta velocidad DC y el sistema de servocontrol se aplican a las bombas levitadas magnéticamente en serie, para tener la máxima energía del motor y compensar la velocidad de rotación del eje de forma automática, lo que permite un arranque estable. Funcionamiento fiable y función de regulación automática de la energía dinámica.
• Tecnología de rotor compuesto de fibra de carbono: los turbo rotores de las bombas moleculares de suspensión magnética en serie se fabrican combinando aleación de aluminio de alta resistencia y fibra de carbono liviana. En comparación con todos los rotores de aleación de aluminio, los turbo rotores se caracterizan por una gran reducción de peso y una gran mejora de la resistencia, de modo que se logran objetivos de alta velocidad de rotación, alto rendimiento y alta confiabilidad.
• Tecnología de resistencia a la corrosión: las superficies de partes en cámaras de bombas moleculares de suspensión magnética en serie se tratan con un proceso especial, de modo que las superficies pueden resistir la corrosión causada por gases corrosivos en los procesos de fabricación de semiconductores durante mucho tiempo. Además, gases inertes como N2 se llenan completamente en el eje de las bombas para proteger las piezas de bajo vacío en las bombas, de modo que se realiza la función de eliminar de manera estable los gases corrosivos durante largos períodos.
• Sistema de control de la temperatura de calentamiento: Las bombas moleculares levitadas magnéticamente de la serie están equipadas con un calentador eléctrico y un controlador de temperatura, de modo que el agua de enfriamiento, el calentamiento de aire y hueso, el calentamiento eléctrico y el calor transmitido por los gases de protección pueden controlarse y controlarse durante el funcionamiento. Las bombas pueden mantenerse a algún valor a largo plazo, algunas sustancias gaseosas no se convierten en sustancias sólidas a temperatura normal y no se depositan en las bombas, y se pueden cumplir los requisitos para procesos especiales como el grabado.

Presupuesto:

Aplicaciones:

Las bombas moleculares levitadas magnéticamente de la serie se aplican principalmente a los campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, galjanoplastia industrial e instrumentos científicos, especialmente a la extracción de gases corrosivos existentes en etch, CVD, PVD e implantes de iones y los gases se coagulan fácilmente a temperatura normal.