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Datos del producto:
Pago y Envío Términos:
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Reborde: | ISO-K/CF DN200 | Enfriamiento: | Agua |
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Lubricación: | Maglev | Velocidad de bombeo: | N2 1400L/s |
Alta luz: | bombas moleculares de turbo,bomba de vacío turbomolecular |
Bomba Maglev, CXF-200/1400, refrigeración por agua, ISO-K / CF, controlador externo
Las bombas moleculares levitadas magnéticamente son las bombas cuyo eje está soportado en virtud de la fuerza magnética.
Las bombas moleculares levitadas magnéticamente de la serie son equipos de generación de vacío desarrollados por KYKY para cumplir con los requisitos de aplicación en los campos de la fabricación moderna de semiconductores, la fabricación de chips, el recubrimiento industrial y los instrumentos científicos.
Tecnologías:
Las ventajas:
1. Cero fricción durante el funcionamiento y bajo consumo de energía.
2. Fácil de adquirir alto vacío realmente limpio y vacío ultraalto sin lubricación para bombas
3. Capaz de extraer gases corrosivos a largo plazo.
4. Alta seguridad y larga vida útil gracias a la protección de los rodamientos con bolas cerámicas de precisión.
5. Función de generación de energía en caso de apagado repentino.
6. Libre de fricción
7. Libre de contaminación.
8. Libre de mantenimiento
9. Baja vibración
10. instalado en cualquier orientación.
Aplicaciones:
Extracción de gases corrosivos existentes en etch, CVD, PVD e implantación de iones y gases coagulados fácilmente a temperatura normal en campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, galjanoplastia industrial e instrumentos científicos,.
Presupuesto:
Brida (In) | DN200 CF / ISO-K, ISO-F |
Brida (Fuera) KF | DN40 |
Velocidad de bombeo (L / s) | N 2 : 1400 |
Ar: 1360 | |
Él: 880 | |
H2 2 : 560 | |
Índice de compresión | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Él: 10 4 | |
H2 2 : 10 3 | |
Presión final (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Presión continua de vacío frontal (Pa) | 100 |
Max. Presión de pre-vacío | N 2 : 210 |
Gas a lo largo (sccm) | N 2 : 2700 |
Ar: 980 | |
Él: 2000 | |
H2 2 : 1800 | |
Velocidad de rotación (rpm) | 30000 |
Tiempo de ejecución (min) | ≤8 |
Tipo de enfriamiento, Estándar | Agua |
Consumo de agua de refrigeración (L / min) | 1 |
Temperatura del agua de enfriamiento (℃) | 20 |
Conexión de alimentación: Voltaje (VCA) | 220 |
Modelo de controlador | CXF-1400 |
Peso (kgs) | 50 (ISO-K / F) 52 (CF) |
Persona de Contacto: sales
Teléfono: +8613810212935